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微量氧分析儀

簡要描述:微量氧分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術(shù),實現(xiàn)工業(yè)過程中ppm級別氧濃度的測量,具有測量精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點,可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計,體積小巧,便于在復(fù)雜工況下安裝,同時配備直觀豐富的用戶界面,提供人機交互體驗。

  • 產(chǎn)品型號:Gasboard-3052
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2026-03-17
  • 訪  問  量:706

詳細介紹

微量氧分析儀


微量氧分析儀產(chǎn)品概述

微量氧分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術(shù),實現(xiàn)工業(yè)過程中ppm級別氧濃度的測量,具有測量精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點,可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計,體積小巧,便于在復(fù)雜工況下安裝,同時配備直觀豐富的用戶界面,提供人機交互體驗。


產(chǎn)品特性

測量精度高,ppm級別測量

響應(yīng)速度快,秒級出數(shù)

產(chǎn)品穩(wěn)定性好,無需定期校準(zhǔn)

緊湊型模塊化設(shè)計,體積小,安裝方便

人機交互強,顯示內(nèi)容豐富、直觀,操作方便

抗干擾能力強,對其他氣體的交叉敏感性低

報警功能:當(dāng)氧氣濃度偏離報警值時將發(fā)出報警,報警值可調(diào)


技術(shù)參數(shù)


測量原理極限電流型氧化鋯法
量程范圍0~10ppm;0~100ppm;0~1000ppm;自動切換
測量精度≤±2%F.S.
分辨率0.1ppm
響應(yīng)時間T90≤10s
工作溫度0~50℃
相對濕度0~95%RH
模擬電流輸出4~20mA
模擬電壓輸出0~1,0~5,0~10 V DC
報警輸出2路報警,1路故障報警
通訊接口RS-232,RS-485
電源12V DC/20V AC,50Hz



應(yīng)用領(lǐng)域

①半導(dǎo)體、LED等生產(chǎn)過程中氧濃度控制。

②惰性保護氣體生產(chǎn)及焊接工藝中氧濃度監(jiān)測。

③空氣分離加工工藝中氧濃度測定。

④真空手套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控。


微量氧分析儀

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