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詳細介紹
在線微量氧氣體分析儀產品概述
在線微量氧氣體分析儀Gasboard-3052基于極限電流型氧化鋯傳感器技術，實現工業過程中ppm級別氧濃度的測量，具有測量精度高、響應速度快、穩定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜工況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。
產品特性
測量精度高，ppm級別測量
響應速度快，秒級出數
產品穩定性好，無需定期校準
緊湊型模塊化設計，體積小，安裝方便
人機交互強，顯示內容豐富、直觀，操作方便
抗干擾能力強，對其他氣體的交叉敏感性低
報警功能：當氧氣濃度偏離報警值時將發出報警，報警值可調
技術參數
| 測量原理 | 極限電流型氧化鋯法 |
| 量程范圍 | 0~10ppm；0~100ppm；0~1000ppm；自動切換 |
| 測量精度 | ≤±2%F.S. |
| 分辨率 | 0.1ppm |
| 響應時間 | T90≤10s |
| 工作溫度 | 0~50℃ |
| 相對濕度 | 0~95%RH |
| 模擬電流輸出 | 4~20mA |
| 模擬電壓輸出 | 0~1，0~5，0~10 V DC |
| 報警輸出 | 2路報警，1路故障報警 |
| 通訊接口 | RS-232，RS-485 |
| 電源 | 12V DC/20V AC，50Hz |
應用領域
①半導體、LED等生產過程中氧濃度控制。
②惰性保護氣體生產及焊接工藝中氧濃度監測。
③空氣分離加工工藝中氧濃度測定。
④真空手套箱系統中氧含量的監控。
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